第一八二五章 尼康45nm干式光刻机横空出世 (第2/3页)

一年多的45nm制程的浸润式光刻机TWINSCANNXT:3360i，终于可以光明正大的面世了。

    打电话让魏建国了解详细情况？

    “董事长，邓院长说，尼康DSP-100干式光刻机虽然采用尼康公司自研的157nm波长激光器，但配备尼康公司自研的Polano偏振照明系统后，能够满足45nm制程的光刻需求，但同我们的3360i相比，他们有两个短时间很难解决的缺陷，一是氟化钙镜头的良品率低，价格昂贵，导致DSP-100的市场价定价会比我们贵50%左右；二是如今没有同45nm制程干式光刻机相匹配的磁悬浮式双工作台系统，工作效率会低15%左右。虽然尼康公司占据先发优势，但一旦3360i公布于众，英特尔和AMD都不会购买DSP-100。”

    魏建国从邓国辉那里得到准确的消息后，向孙健汇报，话语中透着轻松和自信，他们也不担心。

    BSEC光刻机研究院从去年4月就已经开始研发32nm制程的浸润式光刻机，今年3月就生产出了试验样机。

    去年7月18日，全球第一条65nm半导体生产线在PGCA量产的消息传到尼康公司，上下震动很大，虽然尼康研发成功的65nm制程的干式光刻机NSR-S308F随时可以量产，由于各方面的原因，当时没有国际晶圆厂家愿意订购，力推157nm波长干式光刻机发展方向的顾问吉田一郎召集公司高管商议对策。

    现任会长森佳照明坚持沿着既定的技术路线稳步推进，只要能率先研发成功45nm制程干式光刻机，才能一举扭转被动局面，就能继续引领全球光刻机的发展方向；研究所所长兼副总裁小川郁子和财务副总裁兰布林支持森佳照明的决定。

    副总裁诺利克建议公司放弃干式光刻机路线，投资研发浸润式光刻机。

    常务副总裁原田弘树建议公司两条腿走路。

    吉田一郎支持森佳照明等人的意见，抓紧时间研发45nm制程干式光刻机。

    去年5月，Nikon研制的NSR-S308F干式光刻机量产，配备尼康公司自研的Polano偏振照明系统后，能够满足65nm制程的光刻需求。

    SELETE

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