第924章 与秘密工作组秘密会谈（二） (第2/3页)

进和优化......不过其中最为核心的光源部分，我们的研究人员已经取得了极为重大的进展。”

    杜庆安微笑了一下，满脸自豪地说道。

    “光源部分有了重大进展？这么说来，是氟-氪气体激光器要研究成功了？”

    陈国泰立即眉头一挑，惊喜莫名地说道。

    西方世界的光刻机目前基本还在使用高压汞灯作为光源。要到九十年代才会转换为氩-氪气体激光。

    而华国因为激光技术一直领先于世界，从一开始就是使用氦-氖气体激光器。

    不过从激光分辨率上来讲，氟-氪组合其实要比氦-氖组合的效果好一大截。

    “是的。徐国士非常有把握，能够在短时间里，将我们现有的光刻机光源用氟-氪气体激光器替换掉......徐国士说了，氦-氖组合的最大理论制程精度只有250纳米左右。氟-氪组合的最大理论制程精度却可以达到180纳米到130纳米......小陈你上次提供的情报的参考作用确实无比巨大。”

    杜庆安很是感慨地说道。

    “是吗？”

    陈国泰神情兴奋，却又略微有点不好意思地笑了笑。

    现时期西方世界的光刻机很大可能就连氦-氖组合都还没搞明白。华国的光刻机却因为陈国泰的‘谎报军情’，居然马上就要切换为氟-氪组合了。

    “徐国士所带领的研发团队的研发实力真的是太强大了！”

    陈国泰禁不住发出由衷赞叹。

    “确实够强大。”

    杜庆安神色略微有点玩味地笑了笑。

    正常情况下，徐国士即使完全确定了氟-氪气体激光这种组合的研发方向，但想要彻底研发成功，并将其应用为光刻机的光源，极大可能需要相当不短的时间，耗费极其巨大的人力和物力。

    不过华国的绝密军研所在二十年前就开始进行激光研究并且一直都没有断档，所以华国的激光水平一直都是全球领先。

    又因为‘全国一盘棋’的体制问题，徐国士当初一接触到这个光刻机研发人物，就非常轻松地从军研所那边得到了气体激光的相关实验数据。

    徐国士只要对那些数据稍稍验证和调整，就很容

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