第56章 不是?我江城六中要报李东的号? (第3/3页)
,需同时满足以下所有硬性指标:
补偿精度:可将浸没介质折射率波动带来的曝光线宽误差,控制在±1.2nm以内;
响应速度:补偿延迟≤1ms,可适配晶圆台≥1200mm/s的匀速扫描速度;
抗干扰能力:补偿效果不受浸没液瞬态温度波动、流速扰动、溶解气体含量变化的影响;
结构约束:方案不得改动现有曝光光学系统的核心结构与参数,不得改变浸没介质的成分与基础物性,无任何与晶圆表面直接接触的部件。
量产要求:方案核心部件可标准化批量生产,单套系统物料成本≤100万元人民币。】
“呵呵。”
这题如果是说人话的话就是:
我们国威装备现在在搞浸没式光刻机。
然后遇到点小问题。
水被激光加热以后,什么折射率变了呀,什么光路歪了呀,所以良品率崩了。
我们呢,是养一大帮百万年薪的顶尖光学博士和流体力学专家。
但是!他们好像不太会。
所以,我们就想让你们这群连大学校门都没进的高中生,来试试能不能用不超过一百万块钱的成本,帮我把这个问题给秒了?
“好不要脸!”
就在李东吐槽题目的时候,考场里开始陆续传来“啪嗒”、“啪嗒”的声音。
那是考生们放下笔的声音。
坐在李东斜前方的那个魔都中学的男生,此刻正满脸的怀疑人生。
不远处,乔帆的草稿纸上画满了流体力学的纳维-斯托克斯方程和热传导偏微分方程……
这群学霸现在很懵逼,这给我干到哪来了?
这都不是超不超纲的问题了。
这是压根就没打算让人做出来啊!
要知道高中的物理竞赛,不,甚至是大学本科的普通物理,研究的都是“理想模型”。
一般都是无摩擦的表面,绝对刚性的杆,均匀恒温的介质。
但这道题,是“工程现实”!
别说做了,这些专攻物理竞赛的普通竞赛生,很多连这题里涉及的参数逻辑都看不懂!
如果谁真的能提出一个完美自洽且可落地的方案……
这就是帮国产半导体迈过了成熟制程自主可控的一道关键门槛。
“你们华轩科技……真敢想啊。”
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