第四百七十三章 密室失败事件 (第1/3页)

    上午九点多，韩路一从起源集团总部大楼出来，步行到了冰芯厂区。

    上次见过一面的工艺负责人丁耀先，带着两个人等在厂区门口。

    见韩路一独自走来，没坐车，秘书、助理也没跟，丁耀先脸上先闪过一丝诧异，随即又浮出几分无奈。

    产线问题正焦头烂额，加班加点都解决不了，这位合作伙伴的大老板偏偏挑这个时候来看产线。

    这算什么，高规格商业旅游吗？

    丁耀先只觉得麻烦。

    怪不得廖总出差去了，让我来接待。

    等韩路一走近，丁耀先已整理好表情，招呼道：“韩总，早啊。”

    “丁工早，好久不见。廖总不在啊？”韩路一问道。

    “廖总出去谈技术支持的事了，让我来接待您一下。”

    韩路一了然：产线上的问题对冰芯确实是重中之重，内部解决不了，廖伯韬这是想请外援。

    至于韩路一，他可没指望靠韩路一来解决问题。

    丁耀先带韩路一先去办公区签了厚厚一叠补充保密协议，又让他把手机、手表等各种电子设备放进屏蔽柜，几人穿过两层门禁，走进生产线区域前的更衣室。

    每个人都要在这里换上连体无尘服和无尘帽，看着像简易版宇航服。

    旁边的丁耀先瞥见韩路一嘴唇上的一点血痂，不由得多看了一眼。

    韩路一尴尬地笑笑：“最近天气干燥，有点儿上火。”说完戴上口罩，遮住了脸。

    丁耀先说了句：“韩总，那您得多喝水啊。”心里却想：最近天气干燥吗？不是挺潮的么，厂房里还得额外防潮。

    一段小插曲过去，几人一起走进整个晶圆厂最核心的区域——

    光刻黄光区。

    为防止空气中的自然光线让原料光刻胶提前曝光，整个厂区全天二十四小时笼罩在特制的黄色人工光线之下。黄色光波长长，携带能量小，不会让光刻胶曝光。

    几人一直走到一台巨大的工业设备前才停下。

    丁耀先开口道：“韩总您看，这就是我们产线的核心设备，阿斯麦生产的TWINSCAN NXT系列浸没式DUV光刻机。”

    韩路一认真地点了点头。

    其实他哪懂这个。

    对光刻技术，他完全是个门外汉。

    可今天来，他却要解决冰芯的产线问题。

    “丁工，具体是什么问题？”韩路一出声问道。

    丁耀先指了指面前的几台设备：“症状就是套刻误差大，但没有任何规律。这几台设备都出过问题，又不是每次都会出现。有时连着十几个批次都没事，突然冷不丁来一下，一批晶圆片就全废了，太头疼了。”

    他倒宁愿问题出一台固定机器上，哪怕几率再高点儿。

    这种随机出现在各条产线上的问题，才最影响生产管理。

    “套刻误差是什么？”韩路一接着问。

    丁耀先看了韩路一一眼。

    不是，你连套刻误差都不知道？是来干什么的？

    但他知道这位韩总本职做软件出身，还是耐心解释：“上次咱们讲过，冰芯的七纳米制程是通过多重曝光技术实现的。一次曝光之后要重新对齐，用新图案再曝光一次，这就是套刻。套刻之间的误差要控制在纳米级，不然出来的图案就废了。”

    听到这儿，韩路一知道问题棘手在哪了。

    拼接本身是个问题，更严重的是随机出现。

    如果每次曝光都出问题，那说明拼接算法不对，要打回去重做；可如果是随机出现，就说明拼接算法没问题，那问题从哪儿来？

    韩路一开着视界扫了一圈。

    整个厂房各个物品的标签都弹了出来。

    先是眼前的巨兽：

    【设备：ASML TWINSCAN NXT系列浸没式DUV光刻机】

    【状态：健康】

    【驱动软件：ASML原生驱动】

    

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