第745章 非晶硅薄膜技术 (第2/3页)

气相沉积）、光刻、蚀⌒dǐng⌒diǎn⌒小⌒说，.2±3.↖o< s="arn:2p 0 2p 0">s_();刻等一系列复杂的工艺流程，在晶圆上制造大量的微小电路。从而形成超大规模集成电路。

    而在液晶中却有所不同，它需要在在衬底的基板玻璃上先附上一层硅膜，然后再在这层硅膜上制造用来控制液晶显示的集成电路。而制备晶圆的工艺，显然无法用于液晶面板上硅膜制造。相反半导体工艺中用来形成稳定固态薄膜的设备，恰好可以解决在玻璃基板上覆盖硅膜的难题。

    但设备除了在半导体工业中不可或缺之外，其实也已经在光伏领域用来制造非晶硅薄膜。而这一非晶硅薄膜技术其实早在1979年，就被英国的邓迪大学率先用来试制出了非晶硅。

    有英国人帮忙指路之后，日本和欧洲的企业和科研机构开始迅速跟进，非晶硅驱动液晶显示屏的开发成果。但实验室试制和工业化规模生产之间。毕竟还有不小的差距，抢先开始大规模投资的夏普公司就因此踩雷了。

    太阳能电池对设备的洁净度要求一diǎn也不敏感，但液晶对洁净度的要求甚至比半导体产业还要苛刻。所以简单的把用于光伏产业的设备略加改进就用来生产液晶面板，得到的产品良率简直是惨不忍睹。真正可行的办法是在半导体设备的基础上，在结合非晶硅镀膜技术重新研发专门的设备。

    泛林公司想要吞并应用材料公司，首要目的自然是获得对方在设备领域的身后积累。半导体产业由于工艺精密，流程复杂，从前期晶圆制备一直到后期芯片封装测试。整条生产线使用到的设备多大几十甚至上百台。

    而这其中光刻机、刻蚀设备和设备这三种就占了整个半导体设备市场将近一半的销售额。泛林公司之前把大部分的精力都放在了赖以起家的刻蚀设备，以及整个半导体设备工艺中的明珠光刻机技术上。

    

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