622章 G1光刻机！ (第1/3页)

    “非常好！”杨子光兴奋地点头说道，“你们能在这方面跑到所有公司的前面对我们国家具有重大的战略价值，你们必定要牢牢地占领这个技巧制高点，这样我们国家才不会被国外洽商。”

    随后杨子光也是视察了瑞星科技公司，当杨子光见到瑞星科技公司正在测试实验的第三代高端1光刻机。

    瑞星科技公司和燕京物化所联合研制的氟化氪激光光源往年已经变得成熟了，为瑞星科技公司供给了稳固可靠的光源。

    同时瑞星科技公司也是根据杨杰的技巧方案开发出了掩模台、工件台地位丈量装置及丈量方法，并且申请了国家专利。

    这套装置采用了若干激光干涉仪代替电容传感器，使程度向和垂直方向的传感器一致，摸索出了一套独占的算法，对丈量过程中引进对各向丈量干涉仪的进行了权重分配，使得对掩模台地位丈量更加准确。

    瑞星科技公司通过数年的艰苦研发，总算是将工件台和掩膜台运动精度把持在了三纳米的程度，这一切是瑞星科技公司和机床研究院和数个研究所一同攻关的成果，光是这么一个系统参与的技巧职员就达到了上千名。

    三阳光学厂在应用了机床研究院超高精度的磨床后和天马科技公司供给的研磨液后总算是将这些锅盖大小的镜头光学孔径数值提升到了1.33，已经接近了光学镜头的极限。

    德国蔡司能把光学镜头的光学孔径数值已经能做到1.4，已经逼近了1.49这个极限，三阳光学厂能做到这个地步已经是非常了不起了。

    

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