622章 G1光刻机！ (第2/3页)

    这些镜片是三阳光学厂一位有着几十年镜头研磨经验的老技师在超高精度磨床和丈量仪器的配合下手工研磨出来的。

    固然这样的光学镜头产量少，生产时间很长，但是却是让三阳光学厂在光学镜头技巧上迈进了一流的光学器材厂商行列。

    而瑞星科技公司也是为这套光刻机研发了减震器，采用了内部封闭框架，将工作台与外部环境隔离，保持程度，减少外界振动干扰，并保持稳固的温度、压力。

    为了达到这些请求，瑞星科技公司高低所有职员都是削尖脑袋不停地想措施解决各种工程技巧上的困难，总算是将双工件台的第一台氟化氪激光光源的沉浸式光刻机给制作了出来。

    这也就意味着瑞星科技公司这套光刻机可以支撑的极限制程工艺在32纳米，假如在这个期间三阳光学厂能将镜头的光学孔径数值进步到极限，那么可以支撑制程工艺来到22纳米！

    瑞星科技公司并没有向外界颁布这个消息，也是等着明年上半年推出的时候好好地震一下艾斯摩尔和佳能和尼康这些光刻机厂商的。

    “你们还真是有什么宝贝都爱好躲着不让人看到呀！”杨子光感叹地说道。

    “首长，我们公司内部有一套完整的测试实验流程和标准，我们不盼看推出往的光刻机产品是有缺点的，瑞星科技公司要保证每一台交到客户手上的设备都是非常可靠的。”

    “你们在这套光刻机上面投进了多少的研发用度？”杨子光问道。

    “总共加起来在50多亿。”杨杰答

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