739 故意刁难 (第3/3页)

   随后，会议室里响起江南沉稳从容的声音。

    “除了众所周知的光源转换效率与功率、光学系统设计与像差控制等工程难题外，从更基础的物理层面来看，我认为核心挑战至少体现在三个方面：”

    他边说边思考，回答得流畅又有逻辑，可见是平时就有过深入思考。。

    “第一是量子效应带来的极限。当特征尺寸逼近原子尺度，量子隧穿效应、尺寸效应会变得极其显著，传统的半导体器件物理模型会逐渐失效，材料的能带结构、载流子输运行为都会发生本质变化，这对光刻精度提出了近乎苛刻的要求，同时也意味着我们可能需要探索全新的器件架构，甚至是非硅基材料。”

    “第二是光与物质相互作用在极紫外波段的特殊性。EUV光子能量极高，几乎所有材料都会对其强烈吸收，这也就意味着我们没办法使用传统的透射式光学系统，而必须采用基于布拉格反射的多层膜反射镜。但这带来了反射率提升难、膜层热稳定性、缺陷控制等一系列极其复杂的表面与界面物理问题……”

    “第三是随机性问题。在极紫外光刻中，由于光子数量有限、二次电子发射的统计涨落等，会引入显著的随机涨落效应，如线边缘粗糙度、随机缺陷等。这已经不是一个简单的工艺控制问题，而是一个涉及统计物理、涨落理论的基础科学问题，需要从物理源头建立新的模型和理解。”

    江南一开始回答的时候，在座几位教授还皱紧眉头有些担心。

    等他说到最后，这些教授情不自禁得挑了挑眉，显然没有想到江南能够回答得这样完备又深入。

    他们呼吸微微急促，眼底闪着欣慰赞赏的光芒，偏偏又不能表现出来，一个个憋得脸颊微红，倒像是对江南十分不满。

    甚至有一位教授接连抛出了两三个与当前研究方向关联不大、颇为冷僻的物理学问题，像是故意刁难他！

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